炭化ケイ素発熱体（SiC発熱体）
SiC発熱体は金属発熱体と比べ、表面負荷の値を高くとることが可能です。
※これらは炉の形式や使用雰囲気によって異なりますので、詳細は下記をご参考ください
【炉内温度に対する発熱体表面負荷の最大値グラフ】
| 4 ｗ /cm2 以下 | 特に影響を及ぼす有害雰囲気や高温（1300℃以上） |
|---|---|
| 6 ｗ /cm2 以下 | 発熱体に影響を及ぼす有害雰囲気中でも比較的低い温度（1200℃以下） |
| 8w/cm2 以下 | 大気中での推奨表面負荷値 |
| 10 ～ 15w/cm2 以上 | 使用は可能ですが、温度・雰囲気等による影響で極端に寿命が短くなる場合があります |
| 大気(Air) / 不活性ガス中 | 最高<1600℃ |
|---|---|
| N2ガス中 | 最高1400℃ |
| 水素ガス中 | 最高1370℃ |
表面負荷密度を小さくとることで長寿命が期待できます
| N2ガス | 1400℃以上になるとSiCと反応して短寿命になります |
|---|---|
| 水素ガス |
1370℃以上になるとケミカルアタックが発生します ※非常に乾燥/湿った水素ガスはより老化を早めます |
| 水蒸気 | 水分によってSiCが急激に酸化され、発熱体の老化を促します |
| 揮発物(Pb/Bi/Fi2/Cl2/SO2 etc) | 影響を及ぼします |
